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发明名称 WERKWIJZE VOOR HET SELECTIEF AFZETTEN VAN VUURVAST METAAL OP SILICIUM.
摘要
申请公布号 NL189819(B) 申请公布日期 1993.03.01
申请号 NL19810004092 申请日期 1981.09.03
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. TE SANTA CLARA, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 C23C16/04;C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):C23C16/04;C23C16/44;H01L21/443 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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