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发明名称 FLAW INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09210920(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960045409 申请日期 1996.02.06
申请人 NIKON CORP 发明人 HAYANO FUMITOMO
分类号 G01N21/84;G01N21/01;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
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