发明名称 THERMAL STABILIZING METHOD OF CONTACT BARRIER OF GAAS SEMICONDUCTOR AND RUTHENIUM OXIDE
摘要
申请公布号 KR0162863(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19940033313 申请日期 1994.12.08
申请人 KOREA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 MIN, SUK-KI;KIM, EUN-KYU;PARK, YONG-JOO
分类号 H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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