| 发明名称 |
ITO PELLET FOR VAPOR DEPOSITION AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11100660(A) |
申请公布日期 |
1999.04.13 |
| 申请号 |
JP19970259784 |
申请日期 |
1997.09.25 |
| 申请人 |
TOSOH CORP |
发明人 |
UCHIUMI KENTARO;TAKAHATA TSUTOMU;YOSHIMURA RYOJI |
| 分类号 |
B22F5/00;C23C14/08;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
B22F5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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