| 发明名称 |
MASS-FLOW CONTROLLER AND OPERATION CONTROL METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11154022(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
| 申请号 |
JP19980084582 |
申请日期 |
1998.03.30 |
| 申请人 |
HITACHI METALS LTD |
发明人 |
TANAKA MAKOTO;SAKAGUCHI YASUO |
| 分类号 |
H01L21/205;F16K7/17;F16K31/02;G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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