| 发明名称 |
MICROSCOPE WITH SCANNING UNIT, AND ARRANGEMENT THEREFOR AND OPERATION METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11231222(A) |
申请公布日期 |
1999.08.27 |
| 申请号 |
JP19980029341 |
申请日期 |
1998.01.27 |
| 申请人 |
CARL ZEISS JENA GMBH |
发明人 |
GUENTER SCHOPPE;WILHELM STEFAN DR;SIMON ULRICH;HARTMUT HEINZ;BERNHARD GRABLER |
| 分类号 |
G02B6/32;G02B21/00;G02B26/10;(IPC1-7):G02B21/00 |
主分类号 |
G02B6/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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