SAW装置及其制造方法

摘要

一种SAW装置及其制造方法，在压电基板的上面形成多个具有以铝为主要成分的IDT电极的SAW元件。其次将压电基板浸泡在含有磷离子的溶液中，取出后用水洗净并进行干燥。然后在检测各SAW元件的频率特性并进行区分后，将压电基板分割为单独的SAW元件。接着将SAW元件装入外壳，并用导线将SAW元件与外壳连接。最后用顶盖将外壳的开口部密封。从而提供可抑制特性劣化、防潮性强的SAW装置。

主权项

1.一种弹性表面波装置，其特征在于，具有：压电基板；设置在所述压电基板上的含有铝的电极；以及只覆盖所述电极的磷酸铝膜。