大动态范围的哈特曼波前传感器及其测试方法

摘要

一种大动态范围的哈特曼波前传感器及其测试方法，其结构包括由平面波参考源、分光镜、光学匹配系统、波面分割阵列、光电探测器阵列和计算机组成的哈特曼波前传感器，其特点是还有一平移台，所述的光电探测器阵列固定在该平移台上。当畸变波前超出哈特曼波前传感器的固有动态范围时，通过平移台控制光电探测器的移动，并由光电探测器阵列分别测出光敏面初始状态和离焦状态下每个光斑的质心坐标。根据离焦量、波面分割阵列的周期、焦距及每个光斑质心在离焦状态下的位移量，由光斑所属子孔径识别算法计算出该光斑实际归属的孔径区域，从而实现对超出动态范围光斑的正确识别。本发明有效地提高了传统哈特曼波前传感器的测量动态范围。

主权项

1、一种大动态范围的哈特曼波前传感器，包括由平面波参考源(3)、分光镜(2)、光学匹配系统(4)、波面分割阵列(5)、光电探测器阵列(6)和具有数据处理软件的计算机组成的哈特曼波前传感器，其特征是还有一平移台(7)，所述的光电探测器阵列(6)固定在该平移台(7)上，驱动该平移台(7)运动，带动所述的光强探测器阵列(6)沿其光敏面的法线方向移动。