溅射靶

摘要

本发明之目的在于提供一种由厚度互相不同之分割靶材所构成之溅射靶中，可容易从在各分割靶材的邻接部所形设之间隙去除结合材之溅射靶。详言之，本发明之溅射靶，系将由复数个分割靶材所构成之靶材与支撑板，介由结合材而接合为一体之溅射靶，其特征为：前述支撑板系形成为剖面呈略凸状之同时，前述分割靶材之中，配置于前述溅射靶端部之端部分割靶材系形成为剖面呈略L字状，而前述端部靶材以外的分割靶材则形成为平板状。