发明名称 |
电子束诱导二次谐波的超分辨显微系统及测试方法 |
摘要 |
电子束诱导二次谐波的超分辨显微系统及测试方法,其中,至少设有真空腔室,所述真空腔室的两侧分别设置有入光窗口和出光窗口;该系统还包括激光器、第一反射镜、第二反射镜、基频滤光镜和探测器,所述激光器与第一反射镜位于所述入光窗口一侧,所述第二反射镜、基频滤光镜与探测器位于所述出光窗口一侧;所述真空腔室内部设置有扫描电子显微镜、扫描样品台、样品。本发明提供的电子束诱导二次谐波的超分辨显微系统及测试方法,在纳米分辨率内得到样品材料的载流子成像分布,可同时与样品的形貌特征进行对比,在同一测试环境中一次性实现,无需对样品进行移动,得出载流子的产生、分离和输运的时间分辨特性。 |
申请公布号 |
CN105675639A |
申请公布日期 |
2016.06.15 |
申请号 |
CN201410663318.8 |
申请日期 |
2014.11.19 |
申请人 |
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
发明人 |
张跃钢;倪卫海;蔺洪振 |
分类号 |
G01N23/22(2006.01)I |
主分类号 |
G01N23/22(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 |
代理人 |
孙伟峰;杨林 |
主权项 |
电子束诱导二次谐波的超分辨显微系统,其特征在于,至少设有真空腔室(100),所述真空腔室(100)的两侧分别设置有入光窗口(110)和出光窗口(120);该系统还包括激光器(300)、第一反射镜(130)、第二反射镜(140)、基频滤光镜(150)和探测器(400),所述激光器(300)与第一反射镜(130)位于所述入光窗口(110)一侧,所述第二反射镜(140)、基频滤光镜(150)与探测器(400)位于所述出光窗口(120)一侧;所述真空腔室(100)内部设置有扫描电子显微镜(200)、扫描样品台(500)、样品(510)。 |
地址 |
215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号 |