发明名称 高温石英炉管变形侦测治具
摘要 本发明系一种高温石英炉管变形侦测治具,系由一已知半径长度之石英棒及一承载该石英棒之石英基座构成,与基座与石英棒之组合体放入石英管内,利用转动石英棒是否碰触炉管壁而得知炉管是否变形。
申请公布号 TW276354 申请公布日期 1996.05.21
申请号 TW084108365 申请日期 1995.08.11
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 张木荣
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 李锦钟 台北巿松江路一四八号十二楼之三
主权项 1. 一种高温石英炉管变形侦测治具,系包括一石英棒及一用以承载前述石英棒之基座,该石英棒系由一中心轴及一旋转轴构成,将石英棒与基座组合后置入石英炉管内,利用转动石英棒之中心轴后,由旋转轴是否碰触炉管壁而得知炉管是否变形。2. 如申请专利范围第1项所述之高温石英炉管变形侦测治具,其中石英棒与基座之组合体置于石英炉管内时,该石英管之中心轴系与石英炉管同轴心。3. 如申请专利范围第1项所述之高温石英炉管变形侦测治具,其中该石英棒之旋转轴系设置于中心轴之一端且垂直于中心轴,构成“」"型,于基座上设有一穿设孔以供中心轴穿设于内。4. 如申请专利范围第3项所述之高温石英炉管变形侦测治具,其中该石英棒之中心轴与基座之穿设孔成松配合,且中心轴可于穿设孔内以该中心轴之轴心为圆心自转,使构成旋转轴之顶端可以该中心轴之轴心为圆心旋转所画出之轨迹系为一以该旋转轴之长度为半径之正圆。5.如申请专利范围第3项所述之高温石英炉管变形侦测治具,其中石英棒与基座之组合体置于石英炉管内时,该石英管之中心轴系与石英炉管同轴心。图示简单说明:第1图系本发明之分解立体图。第2图系本发明之组合立体图。第3图系本发明置入石英炉管内之示意图。
地址 新竹科学工业园区工业东三路三号
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