クロロシラン含有液体を処理する装置及び方法

摘要

クロロシラン含有液体を処理する装置及び方法本発明は、少なくとも一種のクロロシランを含有する液体を処理方法であって、液体を蒸発させる工程と、蒸発した液体を、洗浄チャンバー中で、アルカリ性媒体と接触させ、ｐＨ９〜１３を有する洗浄液体を形成することにより、処理する工程と、続いて洗浄チャンバーから取り出した洗浄液体を、廃水処理装置で処理する工程とを含み、酸を加え、ｐＨを６〜９に設定し、固体を洗浄液体から遠心機により分離する、方法に関する。