マイクロ波加熱装置

摘要

【課題】導体（金属酸化物等の金属前駆体を含む）や半導体を含んだ対象物をマイクロ波で加熱する場合にスパークの発生を効果的に防止できるマイクロ波加熱装置を提供する。【解決手段】導波管内に配される、導体、金属酸化物、または半導体を含むパターンが形成された平面状基板の、パターンの形成面に実質的に平行となる方向に電気力線の方向が一致するようマイクロ波を供給し、当該マイクロ波をパルス幅制御して、パターンの形成面にパルス状のマイクロ波を供給させるマイクロ波加熱装置である。【選択図】図１