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发明名称 Verfahren zur Herstellung von harten,haftfesten,praktisch absorptionsfreien duennen Schichten
摘要
申请公布号 DE1621214(A1) 申请公布日期 1971.04.29
申请号 DE19671621214 申请日期 1967.09.21
申请人 BALZERS HOCHVAKUUM GMBH 发明人 RHEINBERGER,PETER
分类号 C23C14/00;C23C14/24;G02B1/10 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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