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发明名称
摘要
申请公布号 JPS50158282(A) 申请公布日期 1975.12.22
申请号 JP19740065056 申请日期 1974.06.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/308;H01L21/28 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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