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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR HOT-WALL EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号
JPH02293393(A)
申请公布日期
1990.12.04
申请号
JP19890115492
申请日期
1989.05.08
申请人
FUJITSU LTD
发明人
EBE KOJI;SAWADA AKIRA;NISHIJIMA YOSHITO
分类号
C30B23/08;H01L21/203;H01L21/363
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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