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发明名称
PREPARATION OF HIGH BETA TYPE SILICON NITRIDE POWDER
摘要
申请公布号
JPH02293307(A)
申请公布日期
1990.12.04
申请号
JP19890113269
申请日期
1989.05.02
申请人
SHIN ETSU CHEM CO LTD
发明人
KUWABARA HARUYOSHI
分类号
C01B21/068
主分类号
C01B21/068
代理机构
代理人
主权项
地址
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