发明名称
摘要
申请公布号 JPH0412639(U) 申请公布日期 1992.01.31
申请号 JP19900053159U 申请日期 1990.05.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;B05C5/00;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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