发明名称 |
SEMICONDUCTOR CRYSTAL LAMINATED BODY AND FORMING METHOD THEREOF AS WELL AS SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0750410(A) |
申请公布日期 |
1995.02.21 |
申请号 |
JP19930195840 |
申请日期 |
1993.08.06 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KUDO MAKOTO;MISHIMA TOMOYOSHI;TANIMOTO TAKUMA;SAGAWA MISUZU |
分类号 |
H01L21/20;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/778;H01L29/812;H01S5/00;H01S5/042;(IPC1-7):H01L29/778;H01S3/18 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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