发明名称 SEMICONDUCTOR CRYSTAL LAMINATED BODY AND FORMING METHOD THEREOF AS WELL AS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0750410(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 JP19930195840 申请日期 1993.08.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUDO MAKOTO;MISHIMA TOMOYOSHI;TANIMOTO TAKUMA;SAGAWA MISUZU
分类号 H01L21/20;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/778;H01L29/812;H01S5/00;H01S5/042;(IPC1-7):H01L29/778;H01S3/18 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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