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发明名称
摘要
申请公布号
JP2559514(B2)
申请公布日期
1996.12.04
申请号
JP19900016594
申请日期
1990.01.25
申请人
SHARP KK
发明人
ISHIHARA HIROSHI;KATAYAMA HIROBUMI
分类号
H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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