发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10163321(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960320373 申请日期 1996.11.29
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 ARIMOTO MAMORU
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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