HOLDING MECHANISM FOR SUBSTRATE IN ROTATING TREATMENT APPARATUS,申请号JP19960334547-传众专利搜索

发明名称	HOLDING MECHANISM FOR SUBSTRATE IN ROTATING TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH10163163(A)	申请公布日期	1998.06.19
申请号	JP19960334547	申请日期	1996.11.29
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	KONISHI NOBUO
分类号	H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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