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发明名称 SEMI-CONDUCTOR KARMAN VORTEX FLOW RATE SENSOR, AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11201788(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980007846 申请日期 1998.01.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YOSHIKAWA EIJI
分类号 G01F1/32;H01L29/84;(IPC1-7):G01F1/32 主分类号 G01F1/32
代理机构 代理人
主权项
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