发明名称 ABSOLUTE CORRECTION METHOD OF WAVE FRONT
摘要
申请公布号 JPH11201714(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980003942 申请日期 1998.01.12
申请人 NIKON CORP 发明人 ICHIKAWA HAJIME
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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