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发明名称 SURFACE MACHINING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11233488(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980030865 申请日期 1998.02.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONO TETSUO;MIYAZAKI HIROSHI;HAMAZAKI RYOJI;KURE TOKUO;TOKUNAGA TAKAFUMI;KOJIMA MASAYUKI
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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