发明名称 ORGANIC COPPER (I) USEFUL FOR CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF COPPER
摘要
申请公布号 JPH11315081(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19990010990 申请日期 1999.01.19
申请人 POHANG ENG COLLEGE 发明人 RI JIU;CHO TOKAN;BOKU SAIKYOKU;KYO SOU
分类号 C07F1/08;C23C16/18;H01L21/285;(IPC1-7):C07F1/08 主分类号 C07F1/08
代理机构 代理人
主权项
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