发明名称 |
ORGANIC COPPER (I) USEFUL FOR CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF COPPER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH11315081(A) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
申请号 |
JP19990010990 |
申请日期 |
1999.01.19 |
申请人 |
POHANG ENG COLLEGE |
发明人 |
RI JIU;CHO TOKAN;BOKU SAIKYOKU;KYO SOU |
分类号 |
C07F1/08;C23C16/18;H01L21/285;(IPC1-7):C07F1/08 |
主分类号 |
C07F1/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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