发明名称 Methods of forming materials comprising tungsten and nitrogen
摘要
申请公布号 US6342417(B1) 申请公布日期 2002.01.29
申请号 US09/250974 申请日期 1999.02.16
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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