用于超高真空的永磁体及其制造方法

摘要

为了提供可用于超高真空气氛的永磁体，所述磁体可用于要求低于1×10^-9Pa的超高真空气氛的波动器，具有优异的磁性能，并涂敷致密的附着膜，避免产生气体或者排出气体；利用以下顺序的工艺在R-Fe-B系永磁体表面涂敷各种膜，亦即，(1)利用离子溅射法清洁磁体表面区域，(2)通过薄膜形成技术例如离子镀法形成Ti下涂层，(3)利用薄膜形成技术例如离子镀法，在氩气和氮气的混合气体中，形成具有朝向Ti涂敷层缓慢增大的氮浓度的氮扩散层(TiN_x，x＝0～1)；或者利用离子镀法在Ti涂敷层上形成Al涂敷层；或者利用离子反应技术，在N₂气氛中在所述Al涂敷层上形成AlN涂敷膜；或者在含N₂气氛中提供离子反应镀法，在Al涂敷层上形成复合化合物Ti_1-xAl_xN。#!

主权项

1.一种R-Fe-B系合金制成的可用于超高真空的磁体，具有涂敷于所述磁体表面层上的Ti层作为下涂敷层、和AlN涂敷层或Ti1-xAlxN涂敷层(x：0.03～0.70)中任一种作为外涂敷层，其中在所述的下涂敷层和外涂敷层之间插入铝涂敷层作为中间层。