用于厚光阻层之可显影底涂料组合物

摘要

本发明系关于一种用于光阻剂之底涂料组合物，其包括一不溶于水相硷性显影剂但显影之前变得可溶之聚合物、及一当暴露于辐射时产生一强酸之光酸产生剂，且此外其中该聚合物在该曝光辐射下系透明的。本发明亦系关于一种供底涂料组合物成像之方法。