处理容器中的物件之方法及使用于该方法之盖开启／关闭系统

摘要

当FOUP被关闭时，固定于FIMS系统之开启状态FOUP中之氧化气体的部份压力降低。清洁气体供应喷嘴系配置于FIMS内之开口部（10）的两个垂直侧的外侧。可由清洁气体形成气体幕之幕状喷嘴系附加地安装在开口部（10）的顶侧上方。当以盖（4）关闭晶圆盒（2）时，门开启/关闭机构使盖（4）保持在相对于幕状气体的流动方向之给定角度达给定期间，以及因此，供应至气体幕之清洁气体系藉由盖（4）附加地使用于晶圆盒内部的清洁。