垫窗插入

摘要

一种抛光垫包括：抛光层，该抛光层具有抛光表面；粘着层；该粘着层位于抛光层的一侧而与抛光表面相对；以及固态光透射窗，该固态光透射窗延伸穿透抛光层并成型于抛光层。固态光透射窗具有上方部分，该上方部分具第一横向尺寸，固态光透射窗并具有下方部分，该下方部分具小于第一横向尺寸的第二横向尺寸。固态光透射窗的顶表面与抛光表面共平面，且固态光透射窗的底表面与粘着层的下表面共平面。

主权项

一种抛光设备，包括：平台，所述平台具有平坦上表面，形成于所述上表面中的凹槽，所述凹槽具有下表面，以及连接至所述凹槽的所述下表面的通道；抛光垫，所述抛光垫包括抛光层、抛光表面、下侧，以及穿过所述抛光垫的开孔，所述开孔具有小于所述凹槽的横向尺寸，所述开孔对准所述通道；跨越所述抛光层的粘着层，所述粘着层具有开孔，且其中所述抛光垫的所述下侧藉由所述粘着层粘着性接附至所述平台的所述上表面；以及固态光透射窗，所述固态光透射窗是均质材料的单体式单一片体并且包括上方部分和下方部分，所述窗的所述上方部分凸入所述粘着层中的所述开孔，所述上方部分被至少部分地安置在所述抛光垫中的所述开孔中，所述下方部分被至少部分地安置在所述平台中的所述凹槽中，所述下方部分具有大于所述上方部分的横向尺寸，且所述下方部分于所述抛光层下方延伸，所述窗的所述下方部分的顶表面藉由所述粘着层粘着性接附至所述抛光垫的一下侧，致使所述窗通过所述窗的凸缘的顶表面与相同粘着层的接触而黏附至所述抛光垫，所述粘着层将所述抛光垫的所述下侧固定至所述平台。