涂覆用于燃料电池的隔板的方法和用于燃料电池的隔板

摘要

本发明涉及涂覆用于燃料电池的隔板的方法和用于燃料电池的隔板。根据本公开的一种实施方式涂覆用于燃料电池的隔板的方法包括以下步骤：气化金属氮化物前体以获得前体气体；将包含前体气体和反应性气体的金属氮化物涂层形成气体引入至反应室中；将电压施加至反应室使得前体气体和反应性气体可以转换成等离子体状态，从而在基板上形成金属氮化物涂层；将包含含碳气体的碳层形成气体引入至反应室；并且施加电压至反应室，使得含碳气体可以转换成等离子体状态，从而在金属氮化物涂层上形成碳涂层。

主权项

一种涂覆用于燃料电池的隔板的方法，所述方法包括以下步骤：气化金属氮化物前体以获得前体气体；将包含所述前体气体和反应性气体的金属氮化物涂层形成气体引入至反应室中；将电压施加至所述反应室使得所述前体气体和反应性气体转换成等离子体状态，从而在基板上形成金属氮化物涂层；将包含含碳气体的碳层形成气体引入至所述反应室；以及施加电压至所述反应室，使得所述含碳气体转换成等离子体状态，从而在所述金属氮化物涂层上形成碳涂层。