VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SCHLEIERFREIEN HALBLEITEROBERFLAECHEN,申请号DE19752531431-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SCHLEIERFREIEN HALBLEITEROBERFLAECHEN
摘要
申请公布号	DE2531431(A1)	申请公布日期	1977.01.27
申请号	DE19752531431	申请日期	1975.07.14
申请人	WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH	发明人	GRIESSHAMMER,RUDOLF,DIPL.-CHEM.DR.;KIRSCHNER,HELMUT;LECHNER,GUENTHER
分类号	H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B24B37/00;H01L21/302	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
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