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发明名称 LICHTEMPFINDLICHES MEHRSCHICHTMATERIAL UND VERFAHREN ZUR BILDREPRODUKTION
摘要
申请公布号 DE2623850(A1) 申请公布日期 1976.12.09
申请号 DE19762623850 申请日期 1976.05.28
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND CO. 发明人 BERNARD COHEN,ABRAHAM;NI FAN,ROXY
分类号 G03C5/00;G03F3/10;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/34;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/18;(IPC1-7):G03C5/50 主分类号 G03C5/00
代理机构 代理人
主权项
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