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发明名称 DEVICE FOR METERING GASES TO VACUUM SYSTEMS
摘要
申请公布号 SU1167435(A1) 申请公布日期 1985.07.15
申请号 SU19843703118 申请日期 1984.02.20
申请人 DZERZHINSKY NI KONST INST 发明人 FISHMAN ANATOLIJ A,SU;SOKOLOV VALENTIN I,SU;SHATAEV EVGENIJ V,SU;KOSTENKOV VLADILEN A,SU;KRASHENINNIKOV VLADIMIR N,SU
分类号 G01F11/00;(IPC1-7):G01F11/00 主分类号 G01F11/00
代理机构 代理人
主权项
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