发明名称 OPTICAL SELECTIVE METAL DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 JPS63105974(A) 申请公布日期 1988.05.11
申请号 JP19870225471 申请日期 1987.09.10
申请人 GENERAL ELECTRIC CO <GE> 发明人 HAABAATO SUTANREI KOORU JIYUNIA;YUN SHIEN RIU;HAABAATO REINORUDO FUIRITSUPU
分类号 C23C18/14;C23C18/16;C23C18/18;C23C18/30;H01L21/3205;H05K3/18 主分类号 C23C18/14
代理机构 代理人
主权项
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