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发明名称 ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01176635(A) 申请公布日期 1989.07.13
申请号 JP19870335306 申请日期 1987.12.29
申请人 SONY CORP 发明人 KONISHI MORIKAZU
分类号 H01L39/24;H01J27/26;H01J37/08;H01L21/265;H01L39/00 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
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