| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01246850(A) |
申请公布日期 |
1989.10.02 |
| 申请号 |
JP19880073126 |
申请日期 |
1988.03.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
GOTO HIROSHI;UENO KATSUNOBU;IMAOKA KAZUNORI;ARIMOTO YOSHIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/02;H01L21/31;H01L21/76;H01L27/00;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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