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发明名称 MAGNETIC CIRCUIT FOR MAGNETRON SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH0234780(A) 申请公布日期 1990.02.05
申请号 JP19880184976 申请日期 1988.07.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUDA YOSHIYUKI;YASUI HIDEAKI;KODERA KOICHI;MUKAI YUJI
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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