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发明名称 FORMATION OF HOLE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH02183513(A) 申请公布日期 1990.07.18
申请号 JP19890003216 申请日期 1989.01.10
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 USHIYAMA FUMIAKI
分类号 H01L21/768;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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