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发明名称 Verfahren zur Herstellung von grossen Monokristallen
摘要
申请公布号 DE69305238(T2) 申请公布日期 1997.02.13
申请号 DE19936005238T 申请日期 1993.06.07
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC., ALLENTOWN, PA., US 发明人 VICHR, MIROSLAV, EMMAUS, PA 18049, US;HOOVER, DAVID SAMUEL, NEW TRIPOLI, PA 18066, US
分类号 C30B25/02;C30B25/04;C30B25/18;C30B29/04;C30B33/08;H01L21/205;H01L21/314;(IPC1-7):C23C16/04;H01L21/203 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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