发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09213744(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960020741 申请日期 1996.02.07
申请人 TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP 发明人 HARADA HIDEAKI
分类号 H01L21/60;H01L23/12;H01L23/50;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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