MANUFACTURE OF LARGE-SCALE INTEGRATED CIRCUIT DEVICE, AND LARGE-SCALE INTEGRATED CIRCUIT DEVICE,申请号JP19960318928-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF LARGE-SCALE INTEGRATED CIRCUIT DEVICE, AND LARGE-SCALE INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号	JPH10162040(A)	申请公布日期	1998.06.19
申请号	JP19960318928	申请日期	1996.11.29
申请人	FUJITSU LTD	发明人	YOSHIKAWA SATOSHI
分类号	G01R31/28;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/02;(IPC1-7):G06F17/50	主分类号	G01R31/28
代理机构		代理人
主权项
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