| 发明名称 |
POLISHING METHOD FOR SUBSTRATE FOR DISK AND POLISHING DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11151645(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
| 申请号 |
JP19970315542 |
申请日期 |
1997.11.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
TERADA KAZUTO;KAWAGUCHI AKIRA;DENDA TADASHI;OCHIAI KENJI |
| 分类号 |
B24B7/17;(IPC1-7):B24B7/17 |
主分类号 |
B24B7/17 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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