ELECTRODE UNIT FOR CLEANING THERMAL CVD SYSTEM,申请号KR19960040163-传众专利搜索

发明名称	ELECTRODE UNIT FOR CLEANING THERMAL CVD SYSTEM
摘要
申请公布号	KR100244955(B1)	申请公布日期	2000.02.15
申请号	KR19960040163	申请日期	1996.09.16
申请人	ANELVA CORPORATION	发明人	MIZUNO, SHIGERU;TAGAMI, MANABU;YOSHIMURA, TAKANORI
分类号	H05H1/46;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/20	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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