| 主权项 |
1.一种夹持装置,适用于承载一晶圆,包括:一旋转座;一夹持座,固定于该旋转座之上,并且具有从中心向外延伸之复数个支撑臂;以及复数个夹持销,分别设置于该等支撑臂之上,其中,每一夹持销具有一夹持部,该夹持部具有一抵挡面以及一承载面,该抵挡面具有一突出部,当该晶圆定位于该等夹持销之上时,该晶圆之边缘系顶触于每一夹持销之该抵挡面,并且位于该承载面与该突出部之间。2.如申请专利范围第1项所述之夹持装置,更包括至少一夹持臂,设置于该夹持座之上,并连接于该夹持座之中心以及该夹持销,系用以推动该夹持销以使该夹持销转动一角度。3.如申请专利范围第1项所述之夹持装置,其中,每一支撑臂更具有一夹持销固定座,每一夹持销系定位于该夹持销固定座之上。4.如申请专利范围第1项所述之夹持装置,其中,该等夹持销系由塑胶所制成。5.一种夹持销,适用于承载一晶圆,包括:一夹持部;一承载面,成形于该夹持部之上;以及一抵挡面,成形于该夹持部之上,并垂直于该承载面,其中,该抵挡面具有一突出部,当该晶圆定位于该夹持销之上时,该晶圆之边缘系顶触于该夹持销之该抵挡面,并且位于该承载面与该突出部之间。6.如申请专利范围第5项所述之夹持销,其中,该夹持销系由塑胶所制成。7.一种滚轮夹持装置,适用于承载及刷洗一晶圆,包括:一第一滚轮座;一第一夹持滚轮,设置于该第一滚轮座之上,并且具有一第一部份、一第二部份以及一第一环形凹槽,其中,该第一环形凹槽系位于该第一部份与该第二部份之间,并且该第一部份以及该第二部份之高度系大于该第一环形凹槽之厚度;一第二滚轮座,相对于该第一滚轮座;以及一第二夹持滚轮,设置于该第二滚轮座之上,并且具有一第三部份、一第四部份以及一第二环形凹槽,其中,该第二环形凹槽系位于该第三部份与该第四部份之间,并且该第三部份以及该第四部份之高度系大于该第二环形凹槽之厚度,当该晶圆定位于该滚轮夹持装置之上时,该第一滚轮座与该第二滚轮座系相向靠合,使该晶圆之边缘位于该第一环形凹槽以及该第二环形凹槽之中。8.如申请专利范围第7项所述之滚轮夹持装置,更包括一上刷洗部以及一下刷洗部,其中,该上刷洗部系位于该晶圆之上表面之上,以及该下刷洗部系位于该晶圆之下表面之下。9.如申请专利范围第8项所述之滚轮夹持装置,更包括一上刷洗臂,连接于该上刷洗部。10.如申请专利范围第8项所述之滚轮夹持装置,更包括一下刷洗臂,连接于该下刷洗部。11.如申请专利范围第7项所述之滚轮夹持装置,更包括一夹持定位检测装置,系用以检测该晶圆之边缘是否正确地位于该第一环形凹槽以及该第二环形凹槽之中。12.如申请专利范围第11项所述之滚轮夹持装置,其中,该夹持定位检测装置系设置于该第一滚轮座之上。13.如申请专利范围第11项所述之滚轮夹持装置,其中,该夹持定位检测装置系设置于该第二滚轮座之上。14.如申请专利范围第11项所述之滚轮夹持装置,其中,该夹持定位检测装置更具有一光遮断感测器以及一光遮断标的物。15.如申请专利范围第7项所述之滚轮夹持装置,其中,该第一夹持滚轮以及该第二夹持滚轮系由塑胶所制成。16.如申请专利范围第7项所述之滚轮夹持装置,其中,该第一夹持滚轮以及该第二夹持滚轮系由合成树脂所制成。17.如申请专利范围第7项所述之滚轮夹持装置,其中,该第一夹持滚轮以及该第二夹持滚轮系朝相同之方向转动。18.一种夹持滚轮,包括:一第一圆柱部份;一环形凹槽,成形于该第一圆柱部份之下;以及一第二圆柱部份,成形于该环形凹槽之下,其中,该第一圆柱部份以及该第二圆柱部份之高度系大于该环形凹槽之厚度。19.如申请专利范围第18项所述之夹持滚轮,其中,该夹持滚轮系由塑胶所制成。20.如申请专利范围第18项所述之夹持滚轮,其中,该夹持滚轮系由合成树脂所制成。图式简单说明:第1A图系显示一习知之晶圆夹持装置;第1B图系显示一上刷洗臂清洗一晶圆之情形;第1C图系显示一晶圆位于一习知之夹持锁上之侧视示意图;第1D图系显示根据第1C图之习知夹持销;第1E图系显示根据第1C图之部份俯视示意图;第2A图系显示一习知之滚轮夹持装置之立体示意图;第2B图系显示根据第2A图之侧视示意图;第2C图系显示一晶圆正确地位于一习知之夹持滚轮中之俯视示意图;第2D图系显示根据第2C图之侧视示意图;第2E图系显示一晶圆未正确地定位于习知之夹持滚轮中之俯视示意图;第2F图系显示根据第2E图之侧视示意图;第3A图系显示本发明之夹持装置;第3B图系显示一晶圆位于本发明之夹持销上之侧视示意图;第3C图系显示根据第3B图之部份俯视示意图;第3D图系显示本发明之夹持销;第4A图系显示本发明之滚轮夹持装置之立体示意图;第4B图系显示根据第4A图之侧视示意图;第4C图系显示本发明之夹持滚轮;第4D图系显示一晶圆未正确地定位于本发明之夹持滚轮中之俯视示意图;以及第4E图系显示根据第4D图之侧视示意图。 |
