| 发明名称 |
Fiber optic wafer probe |
| 摘要 |
A fiber optic wafer probe that includes a fiber optic cable for approaching a device under test.
|
| 申请公布号 |
US6970634(B2) |
申请公布日期 |
2005.11.29 |
| 申请号 |
US20010849152 |
申请日期 |
2001.05.04 |
| 申请人 |
CASCADE MICROTECH, INC. |
发明人 |
MCCANN PETER R.;MARTIN JOHN T. |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R31/302;G02B6/36;G02B6/38;G02B6/42;H01L21/66;(IPC1-7):G02B6/00 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
