发明名称 用于球面干涉仪测量球面曲率半径的装置
摘要 本实用新型提供了一种用于球面干涉仪测量球面曲率半径的装置,包括导轨、标准球面镜和支架,在所述支架上放置被测镜和电感测微仪。沿导轨调整被测镜的位置,使被测镜和标准球面镜形成干涉,用电感测微仪测量被测镜顶点到支架端面的距离,用导轨测量标准球面镜端面和支架端面在导轨上垂直投影之间的距离,然后利用球面曲率半径计算公式计算出精确的球面曲率半径值,这样避免了光学焦深引起的计算球面曲率半径值误差。
申请公布号 CN2788127Y 申请公布日期 2006.06.14
申请号 CN200520033654.0 申请日期 2005.03.28
申请人 成都太科光电技术有限责任公司 发明人 王涛
分类号 G01B21/20(2006.01);G01B7/02(2006.01);G01B11/02(2006.01) 主分类号 G01B21/20(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1、用于球面干涉仪测量球面曲率半径的装置,包括导轨(1)、标准球面镜(12)和支架(6),其特征是:在所述支架(6)上放置被测镜(8)和电感测微仪(3)。
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