液体注入喷嘴

摘要

本发明公开了一种用于处理基片的液体注入喷嘴，该喷嘴包括具有第一尖端的第一板和具有第二尖端的第二板，第二板通过紧固件与第一板连接。第一板和第二板确定了一个液体通道，且第一尖端和第二尖端的长度不同。

主权项

1、一种用于处理基片的液体注入喷嘴，该喷嘴包括：具有第一尖端的第一板；和具有第二尖端的第二板，第二板通过紧固件与第一板连接，第一板和第二板确定了一个液体通道；所述第一板和第二板中，用于喷射流体的尖端的长度彼此不同，所述第一板和第二板中，尖端较短的板配置在相对于基片的前进方向的下游侧；并且所述液体注入喷嘴相对于基片倾斜，以便通过所述液体通道沿所述前进方向的相反方向注入液体。