新颖磺酸盐及其衍生物,光酸产生剂及使用其之光阻材料与图型形成方法

摘要

本发明之解决手段系下述式(1)所示之磺酸盐。R1SO3-CH(Rf)-CF2SO3-M+ (1)(R1表示取代或者非取代之碳数1~20之直链状、分支链状或环状之烷基，或取代或者非取代之碳数6~15之芳基。Rf表示氢或者三氟甲基。M+为锂离子、钠离子、钾离子、铵离子或四甲基铵离子)。本发明之效果系，本发明之磺酸在α位(及γ位)、β位具有各自为电子吸引性基之氟、磺醯氧基故显示强酸性度。而且藉由酯部之取代，由体积大之物至小之物可容易导入各种取代基，可使分子设计之空间大幅保持。